Кварцавая вафельная падкладка
Падкладкі для кварцавых пласцін - гэта пласціны, у асноўным вырабленыя з-кварца высокай чысціні (SiO₂), якія шырока выкарыстоўваюцца ў паўправадніках, оптаэлектроніцы, мікра-электрамеханічных сістэмах (MEMS), аптычных прыладах і іншых галінах.
апісанне
Уласцівасці матэрыялу
- Высокая чысціня:Звычайна вырабляецца з сінтэтычнага кварца (напрыклад, плаўленага дыяксіду крэмнія) надзвычай высокай чысціні (больш або роўна 99,99%) і мінімальнай колькасцю прымешак, каб пазбегнуць уплыву на прадукцыйнасць прылады.
- Тэрмічная стабільнасць:Нізкі каэфіцыент цеплавога пашырэння (≈0,55×10⁻⁶/градус) і высокая-тэмпературная ўстойлівасць (тэмпература размякчэння ~1600 градусаў), прыдатныя для высока{4}}тэмпературных працэсаў.
- Аптычныя характарыстыкі:Шырокі дыяпазон прапускання (ад УФ да ВК), з выключнай прапускальнасцю УФ, ідэальна падыходзіць для фотамаскі, лінзаў і г.д.
- Хімічная інэртнасць:Устойлівы да ўздзеяння кіслот і шчолачаў (акрамя плавікавай кіслаты), прыдатны для працэсаў мокрага тручэння.
- Электрычная ізаляцыя:High resistivity (>10¹⁶ Ω·см), ідэальна падыходзіць для ізаляцыйных падкладак або высокачашчынных-прылад.
Прыкладанні
Вытворчасць паўправаднікоў
- Падкладкі Photomask
- Літаграфічныя кампаненты EUV
- Носьбіты для апрацоўкі пласцін
Фатоніка і оптаэлектроніка
- Аптычныя хваляводныя падкладкі
- Мантаж лазернага дыёда
- Кампаненты квантавых вылічэнняў
Спецыяльныя прыкладання
- Базы рэзанатара MEMS
- Оптыка касмічнага тэлескопа
- Лазерныя сістэмы высокай-энергіі
Вытворчы працэс
- Сінтэз сыравіны:Атрымліваюцца шляхам асаджэння з паравай фазы (напрыклад, акісленне SiCl₄) або ачысткі прыроднага кварца.
- Плаўленне і фарміраванне:Высокатэмпературнае-плаўленне з наступным астуджэннем у зліткі або прамым выцягваннем у стрыжні.
- Рэзка:Наразаецца тонкімі вафлямі з дапамогай алмазнай пілкі або лазернай рэзкі.
- Шліфоўка і паліроўка:Хімічна-механічная паліроўка (CMP) дасягае гладкасці нанаметровага-ўзроўню.
- Ачыстка і праверка:Выдаленне часціц і металічных забруджванняў з наступным тэставаннем дэфектаў і параметраў.
Уласцівасці
|
Фізічныя ўласцівасці |
Каштоўнасці |
|
Чысціня |
＞99.99% |
|
Шчыльнасць |
2,2 г/см3 |
|
Празрыстасць |
＞90% |
|
Цвёрдасць па Моасу |
5.5--6.5 |
|
Кропка дэфармацыі |
1280 градусаў |
|
Кропка размякчэння |
1750 градусаў |
|
Кропка адпалу |
1250 градусаў |
|
Удзельная цеплаёмістасць (20 - 350 градус) |
670 Дж/кг. ступені |
|
Цеплаправоднасць (20 градусаў) |
1,4 Вт/м. ступені |
|
Цеплаправоднасць (w/mk, 1000 градусаў) |
1.0-1.2 |
|
Паказчык праламлення |
1.4585 |
|
Каэфіцыент цеплавога пашырэння |
5.510 -7см/см. ступені |
|
Гарачая рабочая тэмпература - |
1750--2050 градусаў |
|
Кароткатэрміновая тэмпература эксплуатацыі - |
1450 градусаў |
|
Доўгатэрміновая эксплуатацыйная тэмпература - |
1100 градусаў |
|
Хімічныя ўласцівасці |
Каштоўнасці |
|
Кислотостойкий |
Моцная кіслата (акрамя HF), моцная шчолач, арганічны раствор |
|
Высокія тэмпературы Устойлівы да карозіі |
Выдатна |
|
Змест металічных прымешак |
<5 праміле |
|
Электрычныя ўласцівасці |
Каштоўнасці |
|
Удзельнае супраціўленне |
7107Ω.см |
|
Трываласць ізаляцыі |
250~400Kv/см |
|
Дыэлектрычная пранікальнасць |
3.7~3.9 |
|
Каэфіцыент дыэлектрычнага паглынання |
＜410-4 |
|
Каэфіцыент дыэлектрычных страт |
＜110-4 |
|
Механічныя ўласцівасці |
Каштоўнасці |
|
Трываласць на сціск |
1100 МПа |
|
Трываласць на выгіб |
67 МПа |
|
Трываласць на разрыў |
48 МПа |
|
Каэфіцыент Пуасона |
0.14~0.17 |
|
Модуль Юнга |
72000 МПа |
|
Модуль зруху |
31000 МПа |
FAQ
Q1: Які максімальны даступны памер падкладкі з кварцавай пласціны?
A: Стандартная вытворчасць дыяметрам да 300 мм, з прататыпамі 450 мм, даступнымі для даследаванняў і распрацовак.
Q2: Ці можаце вы даць індывідуальныя профілі таўшчыні?
A: Так - мы можам вырабіць:
- Пласціны з клінам (для прымянення лазера)
- Дакладныя канічныя канструкцыі
- Меза-структураваныя паверхні
Q3: Які пратакол ачысткі вы рэкамендуеце?
A: Стандартны працэс ачысткі RCA:
1. Выдаленне арганічных рэчываў (H₂SO₄:H₂O₂)
2. Іённая ачыстка (HCl:H₂O₂)
3. HF-апошні для гідрафільнай паверхні
гарачыя тэгі: падкладка з кварцавай пласціны, Кітай, вытворцы, пастаўшчыкі і фабрыка падкладкі з кварцавай пласціны
адправіць запыт
Вам таксама можа спадабацца
