дома - прадукты - Паўправодшчыкі - Кварцавыя носьбіты - дэталі

Кварцавая ачышчальная лодка

Кварцавая ачышчальная лодка - гэта прылада, якое выкарыстоўваецца для ачысткі пласцін у працэсе вытворчасці паўправаднікоў .
Матэрыял: 99,99% злітага кварцавага шкла (Sio₂)
Тэхніка: рэзка, паліроўка, свідраванне, тручэнне і г.д. .
Памер: звычай
MOQ: 1 шт

адправіць запыт

апісанне

Рысы

① Высокая тэмпературная ўстойлівасць
② Каразія супраціву
③ Нашэнне супраціву
④ Лёгка ачысціць

Ужываць

Выдаліце павярхоўныя забруджванні
Пераканайцеся, што якасць вытворчасці паўправадніковых чыпаў .}

Прымяненне

Ачыстка папярэдняй дыфузіі

Выкарыстоўваецца для транспарціроўкі пласцін праз вільготныя этапы ачысткі апускання (E . g ., чыстка RCA) для выдалення арганічных, металічных і часціц забруджванняў перад высокатэмпературнай дыфузіяй або працэсамі акіслення .}}}}}}}}}

Ачыстка пасля CMP (хімічная механічная планарызацыя)

Утрымлівае пласціны падчас ачышчэння пасля паліроўкі, каб выключыць рэшткі завісі і дэфекты паверхні, забяспечваючы аптымальную плоскасць для наступных этапаў літаграфіі .

Выраб у пярэдняй лініі (FEOL)

Выкарыстоўваецца на крытычных этапах ачысткі FEOL, дзе для росту аксіду засаўкі, эпітаксіяльнага адкладу або іённага імплантацыі неабходныя ультра-чыстыя паверхні .}.

Апрацоўка задняй лініі (BEOL)

Падтрымлівае пласціны падчас ачысткі пасля вылучэння або пасля вылучэння для выдалення фотарэзіста, пабочных прадуктаў і металічных прымешак пасля ўзаемасувязі .

Пашыраная ўпакоўка

Палегчыць чыстку на ўзроўні вафераў перад вылучэннем або злучэннем у 2 . 5D/3D IC ўпакоўкі, забяспечваючы інтэрфейсы без забруджвання надзейных злучэнняў.

Фотаэлектрычнае выраб

Выкарыстоўваецца ў вытворчасці сонечных элементаў для ачысткі крэмніевых субстратаў, павышэння якасці паверхні для паляпшэння паглынання святла і эфектыўнасці пераўтварэння энергіі .

Ўласцівасці

Фізічныя ўласцівасці	Каштоўнасці
Чысціня	＞99.99%
Шчыльнасць	2,2 г/см³
Празрыстасць	＞90%
Мохс цвёрдасць	5.5--6.5
Кропка дэфармацыі	1280 градусаў
Кропка размякчэння	1750 градуса
Кропка адпалу	1250 градусаў
Канкрэтная цяпло (20 - 350 ступень)	670J/кг .
Цеплаправоднасць (20 градусаў)	1 . 4W/M. градус
Цеплаправоднасць (W/M . k, 1000 градусаў)	1.0-1.2
Індэкс праламлення	1.4585
Каэфіцыент цеплавога пашырэння	5.510 ^-7cm/cm .
Гарачая - працоўная тэмпература	1750 ~ 2050 градуса
Кароткая - Тэрмін тэмпература абслугоўвання	1450 градусаў
Доўгая - тэрмін тэмпература абслугоўвання	1100 градусаў

Хімічныя ўласцівасці	Каштоўнасці
Кіслотны ўстойлівы	Моцная кіслата (акрамя HF), моцны шчолачны, арганічны раствор
Карозія ўстойлівая да высокіх тэмператур	Выдатны
Змест прымешак металу	＜ 5 праміле

Электрычныя ўласцівасці	Каштоўнасці
Супраціўленне	710⁷Ω . см
Сіла ізаляцыі	250 ~ 400 кВ/см
Дыэлектрычная пастаянная	3.7~3.9
Дыэлектрычнае каэфіцыент паглынання	＜410-4
Каэфіцыент страты дыэлектрычных	＜110-4

Механічныя ўласцівасці	Каштоўнасці
Трываласць на сціск	1100mpa
Сіла выгібу	67mpa
Трываласць на расцяжэнне	48mpa
Каэфіцыент Пуассона	0.14~0.17
Модуль Янга	72000mpa
Модуль зруху	31000mpa

Метады ўборкі

a . Ачыстка апускання:
Пакладзеце пласціну ў ачышчальную лодку, затым пагрузіце ачышчальную лодку ў ачышчальную вадкасць і павялічце кантакт паміж ачышчальнай вадкасцю і паверхняй пласціны, падняўшы вафлю, каб палепшыць эфект ачысткі .

b . ачыстка распылення:
Устаньце ў вертыкальным становішчы ў ачышчальнай лодцы ў камеры распылення і выкарыстоўвайце сопла, каб распыляць ачышчальную вадкасць на паверхні пласціны, каб выдаліць забруджвальныя рэчывы .

C . Важнасць чысткі лодак:
① Пераканайцеся ў чысціні пласцін: чыстая паверхня пласцін мае вырашальнае значэнне для вырабу якасці паўправадніковых чыпаў, а чыстка ачышчае жыццёва важную ролю ў працэсе чысткі .
② Пераканайцеся, што надзейнасць паўправадніковых чыпаў: Пераканайцеся ў надзейнасці чыпаў і памяншайце дэфекты прадукту, выдаляючы паверхневыя забруджванні .
③ Палепшыць выхад паўправадніковых чыпаў: палепшыць чысціню пласцін, тым самым паляпшаючы выхад паўправадніковых чыпаў .